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分辨率:1.2nm @15kv,2.2nm @1kv(非样品台偏压模式) 放大倍数:10X—1000000X,铅合金分析仪,连续可调 加速电压:20v-30kv,连续可调 样品台移动范围:X=Y=120mm,Z=50mm 能谱探测器:SDD硅漂移电制冷探测器 能量分辨率:MnKa优于127eV 元素分析范围:Be4—Cf98。 [1] 主要功能编辑 播报采用ET二次电子探测器、In-Iens二次电子探测器、HDBSD背散射探测器和能谱探测器分别对信号进行检测、放大、成像,用于各种微观形貌及成分分析。

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