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薄膜层等有形物体。分辨率：1.2nm @15kv，2.2nm @1kv（非样品台偏压模式） 放大倍数：10X—1000000X，矿石分析仪厂商，连续可调 加速电压：20v-30kv，连续可调 样品台移动范围：X=Y=120mm，Z=50mm 能谱探测器：SDD硅漂移电制冷探测器 能量分辨率：MnKa优于127eV 元素分析范围：Be4—Cf98。 [1] 主要功能编辑 播报采用ET二次电子探测器、In-Iens二次电子探测器、HDBSD背散射探测器和能谱探测器分别对信号进行检测、放大、成像，用于各种微观形貌及成分分析。

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