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射线管发射具有高能量的粒子束照射样品， 当其能量大于样品原子中某一轨道电子的结合能时， 便可将该轨道的电子逐出， 形成空穴， 即时外层电子跃向空穴， 电子轨道层的能量差将以特征X射线荧光逸出原子， 其能量差与原子序数相对应， 以此能谱的峰位和净强度进行定性和定量分析。依据RoHS检测中元素的特点以及大量实际检测经验， 能量色散X射线荧光光谱仪因其激发源采用较大功率的Rh靶来产生特征X射线激发样品原子中K层L层谱线， 可降低背景

原子发射光谱分析是根据原子所发射的光谱来测定物质的化学组分的。在正常的情况下，原子处于稳定状态，它的能量是低的，这种状态称为基态。但当原子受到能量(如热能、电能等)的作用时，原子由于与高速运动的气态粒子和电子相互碰撞而获得了能量，使原子中外层的电子从基态跃迁到更高的能级上，处在这种状态的原子称激发态。电子从基态跃迁至激发态所需的能量称为激发电位，当外加的能量足够大时，原子中的电子脱离原子核的束缚力，使原子成为离子，这种过程称为电离。

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