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主要使用X射线束激发荧光辐射，次是在1928年由尔和施雷伯提出的。到了现在，英飞思，该方法作为非破坏性分析技术，并作为过程控制的工具，广泛应用于采掘和加工工业。原则上，轻的元素，可分析出铍（z=4），但由于仪器的局限性和轻元素的低X射线产量，往往难以量化，所以针对能量分散式的X射线荧光光谱仪，可以分析从轻元素的钠（z=11）到铀，而波长分散式则为从轻元素的硼到铀。

比如可以测试塑料里面50ppm的Cl氯元素；铜合金里面的0.01%的镉Cd，0.005%的铅Pb，0.03%的铝Al；黄金里面的0.01%镉Cd；锡合金里面的0.005%铬Cr；矿产里面低含量的镁铝硅等

5.仪器的长期稳定性，客户可以每周测试厂家提供的校准样。对于仪器长期稳定性优良的设备，同样的校准样在长时间跨度范围内的结果波动是非常小的。

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