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射线管发射具有高能量的粒子束照射样品, 当其能量大于样品原子中某一轨道电子的结合能时, 便可将该轨道的电子逐出, 形成空穴, 即时外层电子跃向空穴, 电子轨道层的能量差将以特征X射线荧光逸出原子, 其能量差与原子序数相对应, 以此能谱的峰位和净强度进行定性和定量分析。依据RoHS检测中元素的特点以及大量实际检测经验, 能量色散X射线荧光光谱仪因其激发源采用较大功率的Rh靶来产生特征X射线激发样品原子中K层L层谱线, 可降低背景

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