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探测器阵列：放置于焦平面，用于测量各波长像点的光强度。该探测器阵列可以是CCD阵列或其它种类的光探测器阵列。光谱仪的种类很多，分类方法也很多，根据光谱仪所采用的分解光谱的原理，可以将其分成两大类：经典光谱仪和新型光谱仪。经典光谱仪是建立在空间色散（分光）原理上的仪器；新型光谱仪是建立在调制原理上的仪器，故又称为调制光谱仪。 [1] 经典光谱仪依据其色散原理可将仪器分为：棱镜光谱仪、衍射光栅光谱仪、 [2]  干涉光谱仪。

由于每种原子都有自己的特征谱线，因此可以根据光谱来鉴别物质和确定它的化学组成．这种方法叫做光谱分析．做光谱分析时，可以利用发射光谱，也可以利用吸收光谱．这种方法的优点是非常灵敏而且迅速．某种元素在物质中的含量达10^-10(10的负10次方)克，就可以从光谱中发现它的特征谱线，EDX-6000 微光斑黄金检测仪哪里有，因而能够把它检查出来．光谱分析在科学技术中有广泛的应用．例如，在检查半导体材料硅和锗是不是达到了高纯度的要求时，就要用到光谱分析．在历，光谱分析还帮助人们发现了许多新元素．

设备的测试重复性和稳定性非常关键，X荧光光谱仪是基于X射线的元素定性和定量分析技术，各生产厂家根据不同的标定曲线来对样品进行定量，如果每次测试偏差很大，再号称多的仪器也没有作用，这方面也是考察XRF仪器的一个重要依据。很多销售人员都会说XRF本身存在不稳定性，这是事实，但如果偏差的太远，那也说明技术不过关，测试根本就起不到应有的检测作用。测量稳定性和重复性是衡量设备性能的一个关键指标。

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